将找到的参考谱图复制粘贴到Avantage软件中一个新的窗格，图2，4参考谱图放入新的窗格中，选中要拟合的图谱，点击调出NLLSF拟合工具，5所示，选中待分析的谱图（即有Ni元素俄歇峰干扰的Co2p的窄扫谱图），调出NLLSF拟合工具，5调出NLLSF拟合工具，答：一般情况，我们在zui初拟合的时候都是设置成一样的，包括自旋轨道分裂峰，如果存在特殊情况，峰位相差较大，比如Ti2p、C=O是可以放开的，只要在0。
此外，EDS只能检测元素的组成与含量，不能测定元素的价态，且EDS的检测限较高（含量＞2%），即其灵敏度较低，而XPS既可以测定表面元素和含量，又可以测定表其价态，成都XPS的灵敏度更高，很低检测浓度＞0，1%，老师，我感觉XPS数据分析不大准，答：不少人说XPS分析不准，其实很多时候，不是仪器原因，而是我们的知识储备影响着我们的判断，与右边标准谱图对比，很右边是卫星峰，而左图直接标示为Ni(OH)2和NiO。
当用XPS测量绝缘体或者半导体时，由于光电子的连续发射而得不到电子补充，使得样品表面出现电子亏损，这种现象称为“荷电效应”，荷电效应将使样品表面出现一稳定的电势Vs，对电子的逃离有一定束缚作用，因此荷电效应将引起能量的位移，使得测量的结合能偏离真实值，造成测试结果的偏差，高分辨谱经过分峰拟合之后，就可以用来确定元素的化学态了，或者通过反应前后样品的高分辨谱图对比来得到其表面电子结构的变化信息等等。