其他性能的应用，DLC膜在其他方面也具备优异的性能，比如DLC膜的硬度较高，而1微米以下的DLC膜有良好的附着力，DLC膜在红外波段内对Si具有增透，效果；DLC膜的绝缘状况特别好，接近金刚石的电阻率，此外，DLC涂层还具有良好的生物相容性，绝缘性能应用，允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法去除膜表面的污染物而不形成对膜表面本身的破坏，DLC膜的可见光吸收和红外透过性能，可以用在锗光学镜片上和硅太阳能电池上作为减反射膜，这种膜有很高的电阻率、化学耐腐性和抗。
在向小型化和高容量化发展的过程中，造成抖动的原因是，由于离合器片表面的微细油槽结构及粗糙突起的磨损，导致离合器，接合时的排油性能发生恶化，从而造成摩擦系数-速度特性值变差，将离合器片的表面处理工艺由原来的氮化处理改为添加硅的氢化非晶碳(a-，C:H:Si)覆膜处理，就能够同时抑制由离合器接合引起的表面粗糙度降低，以及为维持粗糙度而引起的摩擦副配对材料的攻击性，离合器片相比，经DLC涂层技术处理后，摩擦系数-速度梯度转向负值的时间大幅度延长了。
环境中也没有显著增加，利用DLC涂层多种性能充当MEMS结构材料，DLC涂层作为MEMS的结构材料时吸引人的特点就是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数，由于具有高的谐振频，以，DLC为基础的MEMS设备包括传感器和驱动器等，DLC类金刚石涂层是一种硬质碳覆膜，具有优异的耐磨损性和抗胶着性，是能降低零部件摩擦、磨损的表面处理工艺，被广泛应用于众多，机械零部件的滑动部位，特别是在汽车零部件当中有着较多应用。