金刚石涂层的质量检验，如果膜层出现问题、厚度超差、结合力不强等问题需要及时解决，检验膜层均匀度，检验成形后的膜层如果出现光泽不均匀、有花纹，应该是靶材的材质的纯净度不够，杂质多就会导致膜层不均匀，也可能是涂覆设备的故，障，解决办法：所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设备是否故障，如果设备稳定正常的话则必须更换靶材，解决办法：在设备稳定正常的情况下，膜层的厚度都是取决于成形的工艺时间，所以如果出现膜层超差的情况只要调整处理时间就可以了。
分子间相互作用力的影响，从微观角度分析，界面原子间的短程或长程作用力决定了摩擦力的强度，包括较强相互作用：金属键、共价键和离子键等；较弱相互作用，：π-π相互作用，范德华力，静电力和毛细力等，共价键相互作用，摩擦副相对滑动过程中，DLC膜表面sp3相碳原子中未成键的σ键易跨界面生成共价键：一种是上下表面的悬挂键之间形成C-C键；另一种，共价键会导致较强的粘着作用，这是DLC涂层中摩擦力的主要来源。
环境中也没有显著增加，利用DLC涂层多种性能充当MEMS结构材料，DLC涂层作为MEMS的结构材料时吸引人的特点就是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数，由于具有高的谐振频，以，DLC为基础的MEMS设备包括传感器和驱动器等，DLC类金刚石涂层是一种硬质碳覆膜，具有优异的耐磨损性和抗胶着性，是能降低零部件摩擦、磨损的表面处理工艺，被广泛应用于众多，机械零部件的滑动部位，特别是在汽车零部件当中有着较多应用。