气体质量流量控制器中不小心渗入液体的原因有很多,例如:环境监测站要对各种天气条件下的空气质量进行监测,下雨、结霜、融雪都可能使水汽进入气体质量流量控制器;燃料电池应用通过混合氧气与氢气来生成水,整个过程中极易引入水汽等。常规热式气体质量流量控制器内的传感器被设置为气体通过时将气体温度升高至一指定范围,由于液体的导热能力比气体强,所以即便只是瞬间、微量的液体出现于气路中,也会使得内部元件迅速冷却。当探测到温度下降,温度调节器便会耗费更多功率将其加热至规定温度,以致电子部件迅速烧毁。
差压式气体质量流量控制器的生产原理:通过测量层流组件两端之间的压差来确定体积流量,这种流量方式具有固有的线性。采用差压、绝压和温度传感器来测量并补偿气体的温度、压力,测量标准状态(1个大气压,25℃)下气体的体积流量。热式气体质量流量控制器的产品特点:优点:热式质量流量计无活动部件,无分流管的热分布式仪表无阻流件,压力损失很小;无需温度与压力的补偿;耐压高。缺点:热式质量流量计响应慢。容易被堵塞;不能耐高温。
莱峰流体生产的LF系列的气体质量流量控制器和流量计为热式毛细管感应。气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器,放大后的流量测量电压或电流与设定电压或电流进行比较再将差值信号放大后去控制调节阀通过闭环控制来控制通过的流量并使之与设定的流量相等。