等离子清洗机通常使用许多不同的气体，如氧气、氢气、氮气、压缩空气或氩气。那么为什么要使用这种气体，它在等离子清洗机设备中的作用是什么？ 氩是惰性气体，离子化的等离子体不会与衬底发生化学反应。在等离子体清洗中，氩气主要用于基片表面的物理清洗和表面粗糙化。因此，氩等离子清洗机广泛应用于半导体行业、微电子行业和晶圆制造行业。
氩气。 在等离子清洗机的表面活化清洗中，相对来说，混合气体可以达到更好的处理效果，常见的是氩气和氧气的混合物。另外，由于氩的分子量较大，电离后产生的粒子较重，在电场作用下氩离子的动能高于其他活性气体，所以效果更显著。
氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。
