如有氩气泄漏的危险，应迅速撤离泄漏污染区，戴上呼吸器或防冻护具，如有可能，将泄漏气瓶移至开阔安全的地方。 四川工业氩气虽然是惰性气体，但也需要储存在气瓶柜中。因为容易爆炸的是气瓶，气瓶内的压力和过大或超压都容易引起爆炸。如果存放在气瓶柜中，并配有各种系统，对氩气瓶的爆炸预警还是会起到一定的作用。因此，从安全角度考虑，氩气必须放在气瓶柜内。
清洁表面。 在清洗晶圆、玻璃等产品表面颗粒的过程中，通常采用等离子体轰击材料表面的颗粒，使颗粒分散疏松，然后进行离心清洗等处理过程，会产生显著的效果。这在半导体封装应用中尤为突出。为了防止引线键合过程后引线的氧化，应使用氩等离子体或氩氢等离子体清洗产品表面，以达到更好的产品处理效果。
氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。
