就是用getter。在一定温度下,吸气剂可以吸收氮气、氢气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体。经吸收处理后,氩气纯度可达6.9%。这种保护气体更适合制作高纯度半导体单晶硅。 通过吸气剂净化的氩气纯度: 氧气≤0.2ppm H2≤0.5ppm N2≤1ppm 一氧化碳+二氧化碳≤0.5ppm CH4≤0.5ppm 水分≤1ppm 一种方法设备投资少,脱氧剂在设备中的使用寿命一般在四年以上。
氩气对人体的危害。 吸入高浓度氩气中毒的临床表现主要是缺氧引起的。虽然缺氧是全身性的,但人体的中枢神经系统对缺氧是敏感的。轻者出现头痛、头晕、乏力、恶心、呕吐等症状。严重者会出现昏迷、抽搐甚至昏迷,甚至导致现场人员猝死。由于全身缺氧的损害作用,患者可并发肺水肿、心肌损害、肝肾损害等多器官功能障碍的表现。
氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。