流量控制器可用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体。但需要注意的是，对于腐蚀性气体和特殊气体，应适当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要向供应商特别说明气体的用途，以免因选型或密封材料选择不当而造成严重损失。
成都小口径质量流量计
气体质量流量控制器与工作气体接触的湿材料一般为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料，密封材料分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封材料通常是耐腐蚀材料，如不锈钢、金或镍。带金属密封的MFC原则上可用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特殊气体。金属密封MFC推荐用于高腐蚀性气体，如MOCVD中使用的三溴化硼、三氯化硼、氟化氢和金属氧化物气体。
由于金属密封MFC价格较高，通常在要求不高的场合使用橡胶密封MFC。除非另有说明，MFC采用氟橡胶密封，可用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，如氯化氢等卤素干气。其他一些特殊的腐蚀性气体需要特殊的橡胶。需要耐氨气氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶；有机溶剂气氛(丙酮、甲苯等。)-需要硅橡胶；三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等。-需要全氟橡胶。
